——工欲善其事，必先利其器。

 有人说，苏州工业园区具备了发展纳米技术产业的诸多良好环境，有生物纳米园、中科院苏州纳米所两大一流载体，有强大的人才支撑，也有从事纳米技术研究的一流科研平台——国内投资规模最大、技术水平最高的纳米公共技术服务平台。

           园区拥有国际一流水准的纳米加工平台

 该平台投资约1.2亿元，包括纳米加工和纳米测试分析平台。纳米加工平台具备从微米到纳米量级的加工精度，覆盖实验室到中试的加工能力，满足纳米电子器件、纳米光电子器件、光机电系统、生物芯片和纳米制造等领域的需求；测试分析平台具备了针对成分、结构、光、电、热、力、磁的全面分析测试能力。其中纳米加工平台更是国内唯一一家可提供4寸至6寸兼容MEMS（微机电技术）加工工艺的单位。

平台设在中科院苏州纳米所，张宝顺研究员为负责人。

               纳米平台负责人张宝顺研究员

张宝顺说，平台建立了单精度计算峰值达每秒200万亿次的超级计算中心，在材料和器件特性等方面形成了完备的纳米尺度下单分子和纳米结构的表征、测试分析和模拟计算手段。纳米所的这两个平台，就像一块磁铁形成的巨大磁场，吸引和集聚了一批创业领军人才，以及高新技术企业落户园区，开展科学研究和产品研发。

张宝顺说，要吸引、凝聚一批优秀人才到纳米所工作，纳米所建所之初就规划了平台建设的内容，三年建设中着力打造装备精良的平台，实践证明这条路是正确的，平台现在已经成为了纳米所的‘镇所’之宝和吸引人才的“利器”。

“我们对使用设备的人员进行培训，让他们自己操作纳米所平台上的设备，研发新产品；企业也可以拿自己的设备放到纳米所开辟了空间的平台里，构成企业自己的研发线。同时，我们也能更方便地了解市场的需求，能更好地解决科学问题”，张宝顺介绍说。

 纳米平台对纳米企业及科研人员的吸引力之大可见一斑。一些纳米企业要研发产品，但却没有经费和能力购置同样水平的科研设备，之所以要入驻园区，很大程度上就是奔纳米所的平台而来。落户在园区的敏芯微电子公司就把整个研发线建在这个平台中。

                  中科院苏州纳米所所长杨辉

“我们建设的是一个功能较强、较有特色的平台。这样高水平的平台目前在国内也屈指可数，特别是在长三角经济发达地区，对这样的平台需求非常旺盛，有大量的科研机构、院校和企业提出使用申请，用户非常之多。”纳米所所长杨辉说。

纳米平台建设中还有一段趣事：平台的设备90%国外进口，在购买这批设备时因为纳米所还未得到国家正式验收，所以不能享受国家级科研院所免30%进口税的政策，这样6000余万元进口设备就要多支出近2000万元。后经江苏省委梁保华书记亲自过问，江苏省编办批准将纳米所列为省属事业单位，这批设备得以享受国家的免税政策。

编辑　廖勇斌

2010年6月14日